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特種氣體系統(tǒng)常用的規(guī)范術(shù)語

  特種氣體系統(tǒng)工程在使用、設(shè)計和施工中的常用規(guī)范術(shù)語,大家可以了解一下。

 

  1 特種氣體 specialily gas

 

  用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

 

  2 特種氣體系統(tǒng) speciality gas system

 

  特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。

 

  3 特種氣體間 speciality gas room

 

  是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

 

  4 硅烷站 silane station

 

  是指放置硅烷儲存設(shè)備(氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)儲罐)、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等,并通過管道向用氣生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。

 

  5 明火地點(diǎn) open flame site

 

  室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。

 

  6 散發(fā)火花地點(diǎn) sparking site

 

  散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)。

 

  7 空瓶 empty cylinder

 

  留有殘余壓力的氣體鋼瓶。

 

  8 實瓶 full cylinder

 

  存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶,特種氣體氣瓶一般水容積為40L47、48L等各種容積。

 

  9 氣瓶集裝格 the bundle of gas cylinders

 

  用專用金屬框架固定,采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個數(shù)分別為9個、12個、16個不等,單個氣瓶的水容積通常為40~50L

 

  10 氣瓶柜 gas cabinet (GC)

 

  特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

 

  11 氣瓶架 gas rack (GR)

 

  特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。

 

  12 閥門箱 valve manifold box (VMB)

 

  特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件,VMB在氣體入口配置氣動閥、手動閥,各支管可配置手動閥、壓力表、過濾器等組件,除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽壓力氣體外,VMB各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接口和風(fēng)壓事故報警。

 

  13 閥門盤 valve manifold panel (VMP)

 

  特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件,VMP在氣體入口配置氣動閥、手動閥,各支管應(yīng)配置手動閥、壓力表、過濾器等組件,VMP各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。

 

  14 低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas

 

  在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa的氣體。

 

  15 尾氣處理裝置 local scrubber

 

  用于處理易燃、易爆、有毒、有腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的裝置,處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度,并排入用氣車間的排氣管道。

 

  16 氣體探測系統(tǒng) gas detector system(GDS)

 

  設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤、及其它特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域,通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的含量來判斷本質(zhì)氣體的泄漏,從而發(fā)出聲光報警信號、提供應(yīng)急處理數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。

 

  17 氣體管理系統(tǒng) gas management system(GMS)

 

  包含特種氣體探測系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)輸送與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。

 

  18 最高允許濃度值 threshold limit value(TLV)

 

  工作環(huán)境空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值。

 

  19 爆炸濃度下限值 low explosion limit(LEL)

 

  可燃?xì)怏w在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。

 

  20 臥式氣瓶 y-cylinder/t-cylinder

 

  用于儲存較多特種氣體的氣瓶。一般水容積為500L1000L。

 

  21 自燃?xì)怏w pyrophoric gas

 

  在空氣中會發(fā)生自動燃燒的氣體。

 

  22 可燃?xì)怏w flammable gas

 

  指與空氣(或氧氣)能夠形成一定濃度的混合氣態(tài),并遇到火源會發(fā)生燃燒或爆炸的氣體。

 

  23 毒性氣體 toxic gas

 

  LC50超過200ppm但不超過2000ppm的氣體。

 

  24 腐蝕性氣體 corrosive gas

 

  是指在一定條件下,對材料或人體組織接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆反應(yīng)的氣體。

 

  25 氧化性氣體 oxygenize gas

 

  是指在一定條件下,與材料接觸會產(chǎn)生較為劇烈的失去電子的化學(xué)反應(yīng)的氣體。

 

  26 惰性氣體 inert gas

 

  在一般情況下與其它物質(zhì)不會產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。

 

  27 限流孔板 restrict flow orifice(RFO)

 

  限定系統(tǒng)最大流量的一種裝置。

 

  28 過流開關(guān) excess flow switch(EFS)

 

  流量超出設(shè)定值時,給出開關(guān)信號。

 

  29 APannealed and pickled pipe

 

  經(jīng)過酸洗或鈍化、去除表面殘存顆粒的鈍化無縫不銹鋼管。

 

  30 BAbright annealing pipe

 

  經(jīng)加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚恚齼?nèi)部應(yīng)力并在管道表面形成一層鈍化膜的光亮無縫不銹鋼管。

 

  31 EPelectro-polished pipe

 

  經(jīng)電化學(xué)拋光,使表層實際面積得到最大程度的減少,表面產(chǎn)生一層較厚的封閉的氧化鉻膜的電化學(xué)拋光無縫不銹鋼管。

 

  32 吹掃 purge

 

  用氮?dú)夂蜌鍤鈱μ胤N氣體系統(tǒng)內(nèi)的其它氣體進(jìn)行置換的過程。

 

  33 排氣 vent

 

  特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體。

 

  34 數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng) supervisory control and data acquisition(SCADA)

 

  是以計算機(jī)為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過程控制與調(diào)度自動化系統(tǒng)。它可以對現(xiàn)場的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制,以實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號報警等各項功能。

 

  35 工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng) facility management control system(FMCS)

 

  用于管理工廠動力設(shè)備的管理控制系統(tǒng),一般只具有監(jiān)視功能,不具有控制功能。

 

  36 大宗硅烷系統(tǒng) bulk silane system

 

  是指容器水容積超過250L的硅烷系統(tǒng),包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車(T/T)ISO標(biāo)準(zhǔn)儲罐,以及數(shù)量超過7個的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。

 

  37 氣體面板 gas panel

 

  集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過濾器、壓力計等零部件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用設(shè)施。

 

  38 開敞式建筑 open area

 

  立柱和墻面遮擋部分小于周長的25%的建筑。

 

  39 內(nèi)向檢漏 inboard he leak test

 

  又稱噴氦法測試. 采用內(nèi)部抽真空,外部噴氦氣的方法,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

 

  40 閥座檢漏 cross seat he leak test

 

  采用閥門上游充氦氣,下游抽真空,檢測泄漏率的方法。

 

  41 外向檢漏 outboard he leak test

 

  又稱吸槍法測試,采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣,外部用吸槍檢查漏點(diǎn)泄漏率的方法。

 

  42 不相容性 incompatible

 

  不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng),釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。

 

  43 ISO標(biāo)準(zhǔn)儲罐 ISO module

 

  按國際標(biāo)準(zhǔn)組織(ISO)要求,允許安裝在架子上的多個水容積不超過1218L的儲罐或長管氣瓶的總稱。

 

  44 大宗特氣輸送系統(tǒng)

 

  應(yīng)用1)集束鋼瓶(容積小于50L鋼瓶數(shù)量超過12個以上);2)Y型鋼瓶;3)T型鋼瓶;4)長管拖車;5)ISO槽罐等進(jìn)行特種氣體儲存和送氣作業(yè)的系統(tǒng)。


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