GAS TYPE

分子式

氣體種類

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

CGA接頭

UHP CGA

DIN

JIS

High Purity Gas

高純氣體

W21.8-14RHF

180

350

Acetylene

C2H2

乙炔

軋?zhí)m

200/300/510

N/A

N/A

N/A

Air

Air

空氣

G5/8"-RHF

346/590

N/A

N/A

N/A

Ammonia

NH3

氨氣

G1/2"-RHF

705

720

DIN6

22-R

Argon

Ar

氬氣

G5/8"-RHF

580

718

DIN6

22-4O/23-R

Arsine

AsH3

砷化氫

N/A

350

632

N/A

22-l

Boron Trichloride

BCl3

三氯化硼

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

660

634

DIN8

N/A

Boron Trifluoride

BF3

三氟化硼

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

330

642

DIN8

22-l

Butane

C4H8

丁烷 瓦斯

M22*1.5-LHM

510

N/A

N/A

N/A

Carbon Dioxide

CO2

二氧化碳

G5/8"-RHF

320

716

DIN6

N/A

Carbon Monoxede

CO

一氧化碳

W21.8-14LHF

350

724

DIN5

22-l

Cyclopropane

C3H6

環(huán)丙烷

M22*1.5-LHM

510

N/A

N/A

N/A

Diborane

B2H6

乙硼烷

N/A

350

632

N/A

22-l

Dichlorosilane

CH3SHCl2

二氯甲硅烷

N/A

678

636

DIN5

N/A

Diethylzinc

(CH3CH2)2Zn

二乙基鋅

N/A

510

726

N/A

N/A

Ethane

C2H6

乙烷

M22*1.5-LHM

350

N/A

N/A

N/A

Ethyl Chloride

C2H5Cl

氯乙烷

G3/4"-RHF

510

N/A

N/A

N/A

Ethylene

C2H4

乙烯

M22*1.5-LHM

350

N/A

N/A

N/A

Ethylene Oxide

CH2CH2O

環(huán)氧乙烷

G5/8"-RHF/     G3/4"-RHF

510

N/A

N/A

N/A

Germane

GeH4

鍺烷

N/A

350or660

632

N/A

N/A

Halocarbon11(116)

R11(R116)

G3/4"-RHF

660

716

N/A

N/A

Halocarbon12

R12(R13,R23,R115)

G3/4"-RHF

660

716

DIN6

N/A

Halocarbon14

R14

G3/4"-RHF

320/580

716

DIN6

N/A

Helium

He

氦氣

G5/8"-RHF

580

718

DIN6

22-R/23-R

Hydrogen

H2

氫氣

W21.8-14LHF

350

724

DIN1

22-L

Hydrogen Chloride

HCl

氯化氫

G3/4"-RHF

330

634

DIN8

26-R

Hydrogen Fluoride

HF

氟化氫

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

660/670

638

N/A

26-R

Hydrogen Sulfide

H2S

硫化氫

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

330

722

DIN5

N/A

Iso-Butane

I-C4H8

異丁烷

M22*1.5-LHM

510

N/A

N/A

N/A

Krypton

Kr

氪

G5/8"-RHF

580

718

DIN6

22-R/23-R

Methane

CH4

甲烷

W21.8-14LHF

350

N/A

N/A

N/A

Methyl Chloride

CH3Cl

氯甲烷

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

660

N/A

N/A

N/A

Natural Gas

天然氣

W21.8-14LHF/     M22*1.5-LHM

350

N/A

N/A

N/A

Neon

Ne

氖氣

G5/8"-RHF

580

718

DIN6

22-R/23-R

Nitric Oxide

NO

一氧化氮

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

660

N/A

N/A

N/A

Nitrogen

N2

氮?dú)?/span>

G5/8"-RHF

580

718

DIN10

22-R/23-R

Nitrogen Trifluoride

NCl3

三氯化氮

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

330/670

640

DIN8

N/A

Nitrous Oxide

N2O

笑氣

G5/8"-RHF

326/660

712

DIN8

N/A

Oxygen

O2

氧氣

G5/8"-RHF

540

714

DIN9

22-R/23-R

Phosphine

PH3

磷化氫

W21.8-14LHF

350

632

DIN1

N/A

Propane

C3H8

丙烷

M22*1.5-LHM

510

N/A

N/A

N/A

Silane

SiH4

硅甲烷

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

350

632

N/A

N/A

Silicon Tetrachloride

SiCl4

四氯化硅

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

330

636

N/A

N/A

Silicon Tetrafluoride

SiF4

四氟化硅

G3/4"-RHF/    W21.8-14RHF

330

642

N/A

22-L

Sulfur Hexafluoride

SF6

六氟化硫

G5/8"-RHF

590

716

DIN6

26-R

Tungsten Hexafluoride

WF6

六氟化鎢

N/A

670

638

DIN8

N/A

Xenon

Xe

氙氣

G5/8"-RHF

580

718

DIN6

22-R

備注1:40L/10L不銹鋼瓶閥標(biāo)準(zhǔn)為G3/4"-RHF

備注2:10L以下標(biāo)準(zhǔn)氣體瓶閥標(biāo)準(zhǔn)為W21.8-14RHF

備注3:N/A為資料未知.