硅烷

硅烷產(chǎn)品規(guī)格和技術(shù)指標(biāo)

硅烷產(chǎn)品說明

硅烷在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋，如果濃度不夠低．仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%、氮?dú)庵泻?.5%、氫氣中含1%時(shí)，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時(shí)不燃，大于3%時(shí)自燃，1%～3%時(shí)可能燃燒。硅烷是強(qiáng)還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應(yīng)，與氯、溴發(fā)生爆炸性反應(yīng)，與四氯化碳激烈反應(yīng)。因此對(duì)硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤(rùn)滑油、脂肪反應(yīng)。對(duì)幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時(shí)，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽(yáng)能電池，光導(dǎo)纖維，有色玻璃制造，化學(xué)氣相淀積。

硅烷注意事項(xiàng)

使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng)，保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴(yán)格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復(fù)進(jìn)行置換和抽真空，一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏時(shí)，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠(yuǎn)離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護(hù)用品及應(yīng)急用品。硅烷本身無腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤(rùn)滑油、玻璃。凡是可燃性的有機(jī)高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控制火勢(shì)，使火災(zāi)不向周圍蔓延。燃燒時(shí)輻射熱不太高，所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門以止住氣體的流出�？捎冒籽┦�粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門的過濾器捕捉。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

硅烷的應(yīng)用

高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽(yáng)能薄膜電池將硅分子附著于電池表面

跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)

高純硅烷應(yīng)用于大規(guī)模集成電路的外延生長(zhǎng)工藝中用作硅源

應(yīng)用于國(guó)防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)

硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途

用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作說明

用一個(gè)減壓器或獨(dú)立的控制閥安全地從氣瓶?jī)?nèi)釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。

使用防火花工具。不要試圖對(duì)裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調(diào)節(jié)或其他改動(dòng)。
用氫離子檢測(cè)器監(jiān)測(cè)硅烷的修理和在空氣中的擴(kuò)散，用紅外/紫外監(jiān)測(cè)器監(jiān)測(cè)火災(zāi) 。所以的監(jiān)測(cè)器都應(yīng)有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。
如果出現(xiàn)故障或其他操作問題，請(qǐng)立即與最近的分銷商聯(lián)系。
硅烷系統(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應(yīng)安裝過流閥或過流開關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開關(guān)閥應(yīng)安裝得離氣源越近越好。
如有可能應(yīng)避免單獨(dú)一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應(yīng)這樣進(jìn)行,一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監(jiān)測(cè)系統(tǒng)應(yīng)裝備備用或應(yīng)急電源。必須有遙控緊急開關(guān)，必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。
一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車來移動(dòng)容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。
不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會(huì)損壞閥門并引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好，應(yīng)緩慢仔細(xì)地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難，需停止使用，并與供應(yīng)商聯(lián)系。
使用可調(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設(shè)備接地。電器設(shè)備必須防火花和防爆。

硅烷的物理化學(xué)性質(zhì)

分子量：    32.118

熔點(diǎn)(101.325kPa)：    -185.0℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)：    -111.5℃
液體密度(-185℃)：    711kg/m3
氣體密度(0℃，100kPa)：    1.42kg/m3
相對(duì)密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)：    0.7518m/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)：412L/L
臨界溫度：    -3.4℃
臨界壓力：4843kPa
臨界密度：    242kg/m3
熔化熱(-186.40℃，<0.1kPa)：  24.62 kJ/kg
氣化熱(-111.40℃，101.325kPa)：342.89kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：  Cp=1333.96 J/(kg·K)
蒸氣壓(-168℃)：    1.33kPa
      (-60℃)：    1040kPa
      (-10℃)：    4150kPa
粘度(101.325kPa，0℃)：0.0108mPa·S
表面張力(-111.4℃，101325kPa)：15.11mN/m
導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa，0℃)：0.01918 w/(m·K)
爆炸界限：0.8%～98%
火災(zāi)危險(xiǎn)度：    大